下载一种条纹相机光阴极的制备方法的技术资料

文档序号:19906492

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本发明公开了一种条纹相机光阴极的制备方法。该制备方法首先以多孔阳极氧化铝为模板,通过物理气相沉积和干法刻蚀在抛光硅片表面制备出纳米尺度的柱状微结构阵列。再以该柱状微结构阵列为模板,制备出具有微孔阵列结构的有机薄膜。将有机薄膜转移至光阴极支架...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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