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一种基于零阶贝塞尔波束的太赫兹反射成像系统技术方案
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下载一种基于零阶贝塞尔波束的太赫兹反射成像系统的技术资料
文档序号:19903809
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本实用新型公开了一种基于零阶贝塞尔波束的太赫兹反射成像系统,包括:太赫兹发射源、准直透镜、硅片、衍射元件、聚焦透镜、太赫兹探测器、样品台、样品台移动装置、锁相放大器及控制模块;准直透镜、硅片、衍射元件及样品台沿透射方向依次设置;硅片的中心位...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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