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一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计制造技术
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下载一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计的技术资料
文档序号:19901634
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本发明公开了一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计,加速度计包括加速度敏感机构、位移传感机构和灵敏度切换执行机构;加速度敏感机构包括质量块、折叠梁和机械超材料周期性结构;折叠梁的一端和机械超材料周期性结构的一端分别与质...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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