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一种用于薄膜微带电路的自动化电镀装置及电镀工艺制造方法及图纸
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下载一种用于薄膜微带电路的自动化电镀装置及电镀工艺的技术资料
文档序号:19896266
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本发明公开了一种用于薄膜微带电路的自动化电镀装置及电镀工艺,电镀装置包括:电镀台(1),还包括:PLC控制柜(2)、机器人控制柜(3)、六关节机器人(4)、气动手爪(5)、超声波液位传感器(6)、机器人行走导轨(7)、伺服电机及编码器(8)...
该专利属于北京遥感设备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京遥感设备研究所授权不得商用。
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