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本发明公开一种超导回旋加速器真空室清洗设备,包括超导回旋加速器真空室,超导回旋加速器真空室上接通有四组真空系统分子泵,真空系统分子泵上设置有真空系统插板阀,真空系统插板阀与机械泵及电源密封连接,超导回旋加速器真空室的底部连接有两个接口法兰,...该专利属于合肥中科离子医学技术装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥中科离子医学技术装备有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种超导回旋加速器真空室清洗设备,包括超导回旋加速器真空室,超导回旋加速器真空室上接通有四组真空系统分子泵,真空系统分子泵上设置有真空系统插板阀,真空系统插板阀与机械泵及电源密封连接,超导回旋加速器真空室的底部连接有两个接口法兰,...