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本发明公开了一种凹形光阻涂布的制作过程,包括如下步骤：步骤1：先将蓝宝石芯片放置在电浆清洗机腔体内部，利用氧电浆去除表面有机物质与改变电荷分布状态；步骤2：在进行光阻涂布之前，将附着剂喷涂至蓝宝石芯片表面；增加蓝宝石芯片对光阻附着力，对附着...
该专利属于锐捷光电科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过锐捷光电科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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