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粒子检测装置以及粒子检测装置的检查方法制造方法及图纸
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文档序号:19876903
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一种粒子检测装置以及粒子检测装置的检查方法,该粒子检测装置具备:检查光源(30),其发出检查光;流动单元(40),其被照射检查光;以及椭圆镜(50),其以流动单元(40)的位置为第1焦点,并在顶点设置有孔(51)。...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。
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