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下载多晶硅片的制备系统的技术资料

文档序号:19876645

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本发明公开了一种多晶硅片的制备系统,涉及多晶硅片制备技术领域。所述系统在提纯和制备多晶硅锭的过程中,首先通过熔盐电解法制备硅‑铜合金,同时利用定向梯度凝固技术制备硅晶体,在制备过程中,随着电解的进行,粗二氧化硅不断的溶解,且多晶硅不断的长大...
该专利属于孟静所有,仅供学习研究参考,未经过孟静授权不得商用。

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