下载一种通孔隔离法酸性电镀铜工艺及其装置的技术资料

文档序号:19876521

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本发明公开了一种通孔隔离法酸性电镀铜工艺,包含以下步骤:(1)使用带通孔的间隔物将电镀槽分隔为阳极区和阴极区,并在阳极区中设置电镀液搅拌装置;(2)分别配制阳极电镀液和阴极电镀液将阳极电镀液和阴极电镀液分别倒入阳极区和阴极区中,并在阳极区中...
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