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本发明公开了一种卧式移动阴极镀膜机，包括安装架、真空腔体、往复运动机构、线性阴极源、弱电接入口、过滤充气、翻板阀、粗抽机械泵、前级机械泵、分子泵、插板阀、托盘入料台、入料电机和托盘，所述安装架内部一侧设置有真空腔体，本发明实现了片状和柱状钕...
该专利属于武汉科瑞达真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉科瑞达真空科技有限公司授权不得商用。

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