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本发明涉及一种操作用于将液态金属供给至在真空腔室中的蒸发器设备的装置的方法，其中，供给管从适于容纳液态金属的容器延伸至蒸发器设备，且电磁泵设置在供给管中，且阀设置在供给管中并在电磁泵和蒸发器设备之间。至少局部气体可透过的电磁泵用于该方法中，...
该专利属于塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司授权不得商用。

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