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本发明披露了一设备和形成该设备的方法，即可扩展的热电式红外探测器。该方法包括提供制备有晶体管和传感器区域的衬底。通过以下方法处理衬底：在衬底中形成下传感器腔，用牺牲材料填充下传感器腔，在传感器区域中形成介电膜，在晶体管区域中形成晶体管以及形...
该专利属于迈瑞迪创新科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈瑞迪创新科技有限公司授权不得商用。

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