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本发明公开了一种柔性压力温度集成薄膜阵列传感器敏感元及制备方法，利用柔性铁电薄膜具有的压电效应与热释电效应实现压力传感功能与温度传感功能的集成，敏感元包含柔性衬底、功能薄膜组合体和热管理薄膜组合体。该方法中，在柔性衬底上依次沉积绝热层、下电...
该专利属于上海无线电设备研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海无线电设备研究所授权不得商用。

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