下载一种紫外LED的外延结构及其制备方法的技术资料

文档序号:19862588

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本发明提供一种紫外LED的外延结构及其制备方法,该外延结构从下至上依次包括:衬底层、缓冲层,非掺杂层,N型掺杂层,多量子阱结构,电子阻挡层以及P型GaN层;其中,所述P型GaN层上具有M个通孔,M≥1且为整数。该外延结构中具有带有通孔的P型...
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