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一种具有多晶硅岛的LDMOS器件制造技术
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下载一种具有多晶硅岛的LDMOS器件的技术资料
文档序号:19862491
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本发明提供一种具有多晶硅岛的LDMOS器件,N型漂移区的内部上表面有沟槽,沟槽内填有绝缘介质层,沟槽内有多个多晶硅岛,多晶硅岛沿着水平方向等间距排列,多晶硅岛中存储有负电荷,且负电荷的存储量沿着N型漏极接触区到P型体区的方向逐渐减少;本发明...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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