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一种双极型功率半导体器件及其制备方法技术
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文档序号:19862455
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一种双极型功率半导体器件及其制备方法,属于半导体功率器件技术领域。本发明在保持传统双极型功率半导体器件阴极结构不变的前提下,通过在器件阳极区引入一个阳极沟槽栅结构及源极区和/或基区,在不影响器件正常工作和开通的情况下,通过控制阳极沟槽栅结构...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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