下载一种功率器件的终端结构及其制作方法的技术资料

文档序号:19862446

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本发明涉及一种功率器件的终端结构及其制作方法,所述功率器件包括第一导电类型的第一半导体层,形成于所述第一半导体层内具有第二导电类型的体区的有源区以及形成于所述第一半导体层内的终端结构,所述终端结构包括与所述体区邻接的第二导电类型的结终端扩展...
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