下载一种晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:19862178

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本发明涉及一种晶体管及其制作方法,所述方法包括:提供第一导电类型的衬底;在所述衬底上形成至少一个沟槽;在所述沟槽内填充隔离材料,以形成隔离区;通过外延工艺,在所述衬底及所述隔离区上方形成第二导电类型的埋层,其中,所述隔离区上方的埋层区域的掺...
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