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本发明公开一种具有三维结构表面的热阴极及其制备方法,属于真空元器件技术领域。所述热阴极包括浸渍铝酸盐的多孔钨基和形成于多孔钨基表面的贵重金属薄膜,所述多孔钨基的发射表面开槽形成规则排列的凹陷结构。本发明还公开了该热阴极的制备方法。本发明提供...该专利属于中国电子科技集团公司第十二研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十二研究所授权不得商用。
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本发明公开一种具有三维结构表面的热阴极及其制备方法,属于真空元器件技术领域。所述热阴极包括浸渍铝酸盐的多孔钨基和形成于多孔钨基表面的贵重金属薄膜,所述多孔钨基的发射表面开槽形成规则排列的凹陷结构。本发明还公开了该热阴极的制备方法。本发明提供...