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一种空心纳米球阵列传感器的制备方法技术
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文档序号:19851930
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一种空心纳米球阵列传感器的制备方法,包括如下步骤:(a)衬底基材预处理;(b)光刻蚀法对预处理的硅衬底进行加工;(c)正丙醇中清洗、通氮气干燥;(d)选取Ti作为附着层,Au作为检测电极,采用辉光真空镀膜方法对干燥后的样品进行检测电极沉积;...
该专利属于南京信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京信息工程大学授权不得商用。
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