下载一种全息光栅光刻系统的技术资料

文档序号:19842190

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本实用新型属于光学技术领域,涉及一种全息光栅光刻系统,为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题,使用体布拉格光栅‑1级透射衍射效率作为平行光的判断标准,可以较为精确的确定针孔滤波器与准直透镜之间的距离,准确的将针孔滤波器...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。

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