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武汉华星光电技术有限公司
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LTPS阵列基板及其制造方法、显示面板技术
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文档序号:19832055
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本申请提供一种LTPS阵列基板及其制造方法、显示面板。该方法包括:在衬底基板上形成多晶硅图案;在多晶硅图案上依次形成绝缘层和栅极图案;在栅极图案上形成介电层;在介电层上依次沉积透明电极层和金属导电层,并通过一道光罩制程对透明电极层和金属导电...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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