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本发明公开了一种铁电薄膜材料器件及其制备方法。该铁电薄膜材料器件的制备方法包括以下步骤：制备PZT溶胶；使用匀胶机将所述PZT溶胶旋涂在Pt/Si衬底上，烘干并退火，得到一层涂层，重复进行旋涂、烘干和退火操作，得到PZT铁电薄膜；再在PZT...
该专利属于华南师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南师范大学授权不得商用。

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