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本发明提供一种曝光机的照明机构及其曝光方法,照明机构包括具有透镜切换系统的发光单元,透镜切换系统包括透镜固定部件、固定设置在所述透镜固定部件上的用于阵列基板制程的第一透镜、固定设置在透镜固定部件上的用于彩色滤光片制程的第二透镜、用于驱动透镜...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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