下载一种MEMS微镜扫描激光雷达系统及其扫描方法的技术资料

文档序号:19818400

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本发明提供了一种MEMS微镜扫描激光雷达系统及其扫描方法,包括激光发射器、激光接收器、环路器、MEMS微镜和时序控制与测量模块,激光发射器发射激光;环路器将激光传输至MEMS微镜;MEMS微镜将环路器输出的激光反射至目标区域,将目标区域内障...
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