下载一种对真空腔体气体进行取样并满足正压分析的方法、装置及其组件的技术资料

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本发明一种对真空腔体气体进行取样并满足正压分析的方法、装置及其组件,属于真空取样技术领域,本发明所要解决的问题是提供了一种对真空腔体气体进行取样并满足正压分析的方法和装置,采用的技术方案为:按以下步骤进行:第一步,制备一套密封且可变容积的装...
该专利属于山西中电科新能源技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西中电科新能源技术有限公司授权不得商用。

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