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本发明公开了一种电容式差压传感器及其输出特性计算方法与制作方法。应用理想气体状态方程和板壳理论建立了传感器静态及动态输出特性的计算方法，特别提出了一种真空高温退火加工感压膜的方法。本发明的一种新型的实时动态压力检测的差压传感器，传感器加工方...
该专利属于江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大学授权不得商用。

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