下载一种酸性蚀刻液循环再生系统及其方法的技术资料

文档序号:19804200

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本发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生方法,包括以下步骤:(1)预制酸性蚀刻液循环再生系统;(2)由蚀刻生产线产生的蚀刻废液储存于废液桶中,废液桶中的蚀刻废液通过自动检测添加方式添加至离子膜电解循环装置中;(3)由离子膜电解循环装置对蚀刻废液进...
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