下载一种单面基材真空镀膜设备的技术资料

文档序号:19804017

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本发明公开了一种单面基材真空镀膜设备,真空发生装置与蒸镀室通过柔性真空管路连接,蒸镀室的一面开口或多面开口,开口处的一侧设置有与密封蒸镀室开口面的待涂布基材,待涂布溶液储罐与真空发生装置或蒸镀室连接;待涂布基材贴近蒸镀室的开口处,真空发生装...
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