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本实用新型公开了一种采用软模板进行微纳米结构均匀压印的压印装置，包括机架；控制单元；软模板，在软模板外侧固定有软模板托架；下压机构，设于软模板上方并与机架滑动连接，在下压机构上设有密封单元；充压机构，设于下压机构上并与腔室相通；承压机构，设...
该专利属于青岛天仁微纳科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛天仁微纳科技有限责任公司授权不得商用。

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