下载一种可测量硅芯直径的硅芯炉的技术资料

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本实用新型涉及多晶硅生产领域,公开了一种可测量硅芯直径的硅芯炉。硅芯炉包括形成空腔的炉体、直径测量系统以及显示装置。炉体具有形成空腔的炉壁,炉壁上设置有透明的观察窗。直径测量系统包括设置于观察窗外的光电测距仪以及控制器,光电测距仪用于检测硅...
该专利属于亚洲硅业(青海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚洲硅业(青海)有限公司授权不得商用。

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