下载一种托盘搬运装置的技术资料

文档序号:19791402

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本实用新型涉及基板搬运技术领域,公开了一种托盘搬运装置,该托盘搬运装置包括:至少两个工位、至少两个托盘、以及用于驱动托盘在至少两个工位之间移动的驱动单元;驱动单元包括:一升降机构,可沿垂直方向升降运动;至少两个移载机构,用于移载托盘;每个移...
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