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LED外延结构及其制备方法技术
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文档序号:19782141
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本发明揭示了一种LED外延结构及其制备方法,所述LED外延结构从下向上依次包括衬底、AlN缓冲层、uGaN层、N型GaN层、多量子阱发光层、AlInGaN/AlN超晶格扩散阻挡层、P型空穴注入层及P型GaN层。本发明在多量子阱发光层及P型空...
该专利属于聚灿光电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过聚灿光电科技股份有限公司授权不得商用。
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