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垂直型光电子器件及其制造方法技术
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文档序号:19782076
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本发明提供了一种垂直型光电子器件,所述垂直型光电子器件从下至上依次包括:基板;背电极层;第一欧姆接触层;有源层,其用于实现光电或电光转换;第二欧姆接触层;以及位于所述第二欧姆接触层上的顶电极。本发明的垂直型光电子器件的背电极层还用作背反射镜...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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