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一种具有源极相连P埋层和漏场板的GaN场效应晶体管制造技术
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下载一种具有源极相连P埋层和漏场板的GaN场效应晶体管的技术资料
文档序号:19782049
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本发明公开了一种具有源极相连P埋层和漏场板的GaN场效应晶体管,包括栅极、源区、栅介质层、钝化层、势垒层,沟道层,低浓度陷阱掺杂缓冲层,高浓度陷阱掺杂缓冲层,与源极相连P型埋层,漏场板;所述源极相连P型埋层位于低浓度陷阱掺杂缓冲层中,所述漏...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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