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一种低成本碳化硅肖特基二极管芯片及其制备方法技术
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下载一种低成本碳化硅肖特基二极管芯片及其制备方法的技术资料
文档序号:19782038
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本申请提供了一种低成本碳化硅肖特基二极管芯片,包括背面层状金属电极、正面层状金属电极、衬底、外延层一、P型保护环、肖特基金属层、环状钝化层以及环状聚酰亚胺膜;本申请还提供了一种低成本碳化硅肖特基二极管芯片的制备方法;通过先在衬底上生长一层N...
该专利属于济南晶恒电子有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过济南晶恒电子有限责任公司授权不得商用。
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