下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:19781944

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一种半导体结构及其形成方法,方法包括:提供衬底以及位于衬底上分立的鳍部;在衬底上形成隔离结构,隔离结构顶部低于鳍部顶部;形成横跨鳍部的伪栅结构,伪栅结构覆盖鳍部的部分侧壁和顶部表面,伪栅结构包括栅氧化层以及位于栅氧化层上的栅极层,栅极层还覆...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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