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本发明公开了一种用于等离子体参数诊断的探针装置，安装于探针载体上，其该探针装置包括壳体和设置在所述壳体内的两个静电探针，并且在安装于所述探针载体上之后，所述静电探针的探测端与所述探针载体的外表面平齐。该探针装置很好解决了高温等离子体中外露的...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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