下载一种双面镀膜石墨舟的技术资料

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本实用新型公开了一种双面镀膜石墨舟,包括舟片、硅片和卡点,所述硅片安装在舟片厚度的中间位置,所述舟片上设置卡点,硅片固定于卡点的中间位置,所述卡点为沙漏状结构,所述舟片上设置安装槽,卡点安装在安装槽的内部。本实用新型结构简单,通过将硅片放置...
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