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本专利公开了一种单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线，从上至下依次是低折射率覆盖层，金属纳米球体阵列和探测器衬底。所述低折射率覆盖层的折射率在1.3至2.3之间，金属纳米球体直径300‑500纳米，周期700‑900纳米。金属纳米天线结构...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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