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本发明公开了一种硅片片盒和设备平台，硅片片盒设有前开门和气阀接头；设备平台包括：装载台，用于放置硅片片盒；装载闸室的前端通过前开门与硅片片盒密封相连，后端通过后闸与工作平台相连；工作平台的周边连接工艺腔，工作平台内设有真空机械手，用于在硅片...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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