下载超声波指纹传感器及其制备方法、应用的技术资料

文档序号:19746219

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本发明提供了一种超声波指纹传感器及其制备方法、应用。制备方法为:在基材的上表面刻蚀出一个凹槽阵列,在所述基材的上表面涂布干膜或湿膜;在所述干膜或湿膜上制备通孔阵列,所述通孔阵列的分布与所述凹槽阵列一致,之后固化所述干膜或湿膜,形成牺牲层;在...
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