下载一种工作效率高的石墨烯化学气相反应沉积装置的技术资料

文档序号:19735577

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本发明涉及一种工作效率高的石墨烯化学气相反应沉积装置,包括基座、控制器、动力机构、炉体、出气管和两个导气机构,导气机构包括储气罐、导气管、导气室和入气管,导气组件包括导气轴、驱动组件、第一锥齿轮、两个扇叶和两个套环,驱动组件包括驱动块、转盘...
该专利属于葛顺英所有,仅供学习研究参考,未经过葛顺英授权不得商用。

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