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一种在线监测直拉单晶炉内长晶界面形状的方法技术
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文档序号:19713614
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本发明公开了一种在线监测直拉单晶炉内长晶界面形状的方法,在晶体侧壁布置两个温度监测点,两个温度监测点和三相点沿长晶方向等间距分布,结合三相点的温度,预测长晶界面形状的变化。本发明通过测温装置测量晶体侧壁两个监测点的温度,能够方便准确的预测拉...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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