下载一种在线监测直拉单晶炉内长晶界面形状的方法的技术资料

文档序号:19713614

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种在线监测直拉单晶炉内长晶界面形状的方法,在晶体侧壁布置两个温度监测点,两个温度监测点和三相点沿长晶方向等间距分布,结合三相点的温度,预测长晶界面形状的变化。本发明通过测温装置测量晶体侧壁两个监测点的温度,能够方便准确的预测拉...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。