下载具有强铁磁性的CaB6薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:19713440

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本发明公开了一种具有强铁磁性的CaB6薄膜的制备方法,包括如下步骤:准备玻璃衬底;以CuGe合金为靶材,在玻璃衬底上沉积CuGe层,其中,CuGe层厚度为15‑30nm;以CoPbMn合金为靶材,在CuGe层上沉积CoPbMnO层,其中,C...
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