下载蒸镀装置的技术资料

文档序号:19713419

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本发明提供一种蒸镀装置,用于对基板进行蒸镀。该蒸镀装置包括至少一个距离传感器、调节件、承载板以及触摸板;所述承载板,用于承载基板;触摸板,设置在基板上,触摸板与承载板相对间隔设置;至少一个距离传感器,用于测量承载板的水平度,得到第一水平度,...
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