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本发明公开了一种提纯三氯氢硅的方法。该方法包括以下步骤：S1，将三氯氢硅原料与氯气和氧气在光源催化下进行反应，得到的反应产物；S2，对反应产物进行精密过滤，将反应产物中的固体和反应液体产物分离；以及S3，将反应液体产物输入精馏塔脱除杂质、轻...该专利属于洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。