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单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法制造方法及图纸
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文档序号:19701171
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本申请公开了一种单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法,该单晶硅棒转运装置包括:换向载具;硅棒夹具,设于所述换向载具的硅棒夹具区;其中,所述换向载具被驱动作换向运动,所述换向载具上的硅棒夹具在换向运动中将单晶圆硅棒由上料工位转运至开方作业工位及...
该专利属于浙江集英精密机器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江集英精密机器有限公司授权不得商用。
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