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具有除尘机构的芯片切割机制造技术
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下载具有除尘机构的芯片切割机的技术资料
文档序号:19701159
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本发明属于半导体晶圆加工领域,具体公开了具有除尘机构的芯片切割机,包括机架,机架上设有晶圆放置台,晶圆放置台上方设有切割机构,晶圆放置台一侧设有除尘机构,除尘机构包括横向滑动连接在机架上的第一支撑座和第二支撑座,第一支撑座上连有横向的橡胶棒...
该专利属于重庆市嘉凌新科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆市嘉凌新科技有限公司授权不得商用。
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