下载一种半导体级单晶硅晶棒定向测试系统的技术资料

文档序号:19701157

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本发明公开了一种半导体级单晶硅晶棒定向测试系统,包括料板机构、料板旋转机构、升降机构、摆转机构和驱动机构,所述摆转机构包括安装座,安装座的顶部安装有减速机,减速机的顶部设有与减速机连接的第二电机,第二电机的一侧安装有第一编码器,驱动机构设置...
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